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      北方華創完成刻蝕領域的又一塊拼圖——CCP介質刻蝕
      發布時間:2022-08-15

        2005年8月,北方華創第一臺ICP刻蝕機進入大生產線,目前已有上千臺設備服務客戶;2017年11月,北方華創推出第一臺金屬刻蝕機,目前已有上百臺設備服務客戶;今天,北方華創正式發布CCP介質刻蝕機,目前已在5家客戶完成驗證并實現量產!


        實現刻蝕工藝全覆蓋

        一直以來,讓您堅定選擇的北方華創刻蝕產品,究竟憑借什么?

        Reliable 可靠 ?Innovative 創新 ?Excellent 卓越 ?

        背靠深厚歷史積淀的NMC508系列,又迎來了新成員——NMC508 RIE 介質刻蝕機。



        Reliable 可靠——精研需求,贏得信賴
        · 擁有8吋設備二十年工藝基礎,穩扎穩打,善作善成;
        · 專為8吋工藝設計的腔室與硬件,更加貼合客戶,滿足定制化需求;
        · 6&8吋兼容,可實現快速切換;
        · 目前,已在5家客戶完成驗證并實現量產[1];
        · 18年成熟的軟件系統應用,以及穩定的備件系統,配備可靠供應鏈;
        · 搭載全套服務團隊,可為您提供包括工藝開發、零部件供應、軟件升級、質保服務等在內的全方位保障,卓越的性能與服務可為您的量產保駕護航。
        [1] 統計截止時間:2022年7月

        Innovative 創新——先進技術,芯雕細刻
        · 在前道工藝上,具有刻蝕形貌好、選擇比高、工藝性能優越的特點;在后道工藝,可實現對金屬副產物的有效控制,維護周期長;
        · 采用多頻射頻技術,具有刻蝕速率高、工藝均勻性佳、工藝窗口大等特點,可更好滿足深孔小CD的應用發展趨勢;
        · 在晶圓傳輸平臺系統上,采用自主研發的通用平臺,擁有成熟的軟件系統,并具備晶圓自動定心(AWC)功能,滿足晶圓穩定傳輸作業的需求;
        · 在腔室設計上,采用防等離子打火結構和精確的電極控溫設計,具備溫度分區控制功能,配備終點檢測系統,滿足關鍵刻蝕工藝的均一性、終點抓取等需求,且顆粒表現佳;
        · 耗材壽命長,維護便捷,可滿足您擁有成本(COO)和消耗成本(COC)雙低的需求。

        Excellent 卓——時代前沿,卓越不凡
        · 作為CCP刻蝕機,具備在介質刻蝕上的高選擇比、高刻蝕速率等優勢,適用于介質類氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等膜層材料;
        · 可為客戶提供包括邏輯器件、功率器件、化合物半導體等在內的多種特色工藝;
        · 主要應用領域包括但不限于:Logic, BCD, Power(Si/SiC/GaN), MEMS;
        · 完成了該領域國產設備工藝的又一塊拼圖,實現了北方華創在8吋刻蝕設備上的整體解決方案,包括硅刻蝕、深硅刻蝕、金屬刻蝕、化合物半導體刻蝕(SiC, GaN, GaAs, InP, LiNbO3, LiTaO3等)等工藝設備。

        - 不“止”刻蝕 -
        作為一家平臺型企業,北方華創還可為您提供包括PVD、CVD、ALD、爐管、清洗等在內的8吋設備,為您提供整體解決方案。

        - 跨越,再跨越 -
        一次次的突破,是為了更好地出發,北方華創始終堅持以精良的產品與服務,為客戶創造價值,持續支撐產業發展;始終保持對前沿科技的崇敬和探索,造就技術與解決方案的前瞻性與先進性,帶給產業無限可能!

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